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P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器

具有孔徑的高精度XY掃描儀

P-733.2

§ X和Y向上的行程達100微米×100微米

§ 電容式傳感器使分辨率達0.1納米

§ 帶直接驅動器的高速版本

§ 可提供真空兼容和非磁性版本

§ 并聯運動實現更高精度和動態(tài)

§ 導向誤差主動補償的并行計量

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統

§ 50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光 應用

應用領域

·         掃描顯微鏡

·         共聚焦顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         表面測量技術

·         納米壓印

·         顯微操縱

·         圖像處理/穩(wěn)定

·         高運動平面度和直線度的納米定位

帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時，數字控制器的自動校準功能就會使用這些數據。

并聯運動實現高動態(tài)多軸操作

在并聯多軸系統中，所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有最小的質量慣性和相同的設計，可實現快速、動態(tài)和精密的運動。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現無故障運行1000億個循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

直接位置測量帶來最大精度

運動直接在運動平臺上測量，完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現最佳的重復精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應控制。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統可實現極低的排氣率。

訂購信息

帶直接驅動器

P-733.2DD

高動態(tài)精密XY向納米定位系統，30 微米 × 30 微米，直接驅動，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

帶Sub-D連接器（公頭）的版本

P-733.2CD

精密XY向納米定位系統，100 微米 × 100 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

帶LEMO連接器的版本

P-733.2CL

精密XY向納米定位系統，100 微米 × 100 微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器

配件

P-733.AP1 接裝板用于將P-733 壓電工作臺安裝在M-545 XY位移平臺上

線性定位器，真空兼容達10-9百帕

P-733.2VL

精密XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器，真空兼容至10-6百帕

P-733.2VD

精密XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，真空兼容至10-6百帕

P-733.2UD

精密XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

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