P-752 高精度納米定位平臺

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具有極其準確的導向的高動態(tài)穩(wěn)定型壓電陶瓷掃描

分辨率0.1納米

行程達35微米

無摩擦柔性鉸鏈導向可實現(xiàn)極高的運動精度

快速響應

電容式傳感器帶來最高線性度

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

描述

應用領域

·         掃描顯微鏡

·         測量技術

·         測試程序和質量保證

·         光子

·         光纖定位

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時，數字控制器的自動校準功能就會使用這些數據。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

直接位置測量帶來最大精度

運動直接在運動平臺上測量，完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現(xiàn)最佳的重復精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應控制。

訂購信息

P-752.11C

高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，15微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-752.1CD

高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，15微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-752.21C

高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，30微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-752.2CD

高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，30微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

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